GB/T 26533-2011 俄歇电子能谱分析方法通则_标准百科

本标准规定了以电子束为激发源的俄歇电子能谱(AES,AugerElectronSpectroscopy)的一般表面分析方法。
本标准适用于俄歇电子能谱仪。


英文名称：	General rules for Auger electron spectroscopic analysis
中标分类：	仪器、仪表>>光学仪器>>N33电子光学与其他物理光学仪器
ICS分类：	37.020;17.180
发布部门：	中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会
发布日期：	2011-05-12
实施日期：	2011-12-01
提出单位：	全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)
归口单位：	全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)
主管部门：	全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)
起草单位：	清华大学化学系
起草人：	姚文清、李展平、曹立礼、朱永法
页数：	16页
出版社：	中国标准出版社
出版日期：	2011-12-01

前言

本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准由全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC38)提出并归口。
本标准起草单位:清华大学化学系。
本标准主要起草人:姚文清、李展平、曹立礼、朱永法。

前言 Ⅲ
1 范围 1
2 规范性引用文件 1
3 术语和定义 1
4 方法原理 1
5 仪器 2
5.1 仪器组成 2
5.2 仪器性能 3
6 样品 3
7 分析步骤 4
7.1 能量标尺校正 4
7.2 AES定性分析及操作步骤 6
7.3 俄歇电子能谱的定量分析 6
7.4 深度剖析 7
7.5 元素化学态分析 7
8 分析结果的表述 7
8.1 俄歇全谱 7
8.2 窄谱 7
8.3 线扫描谱 7
8.4 深度剖析谱 7
8.5 多点显微对比分析 8
8.6 样品表面元素分布图(Augermap) 8
8.7 分析结果表述方式 8
图1 KL1L3 俄歇跃迁 2
图2 俄歇电子能谱简图 2
图3 Cu、Au和Al三个参考物质的直接谱和微分谱(相对能量分辨率0.3%) 5
表1 参考物质的俄歇电子动能参考值 4

引用标准

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T22461—2008 表面化学分析词汇
ISO/TR15969:2001 表面化学分析深度分析溅射深度的测量(SurfaceChemicalAnalysis—DepthProfiling—MeasurementofSputteredDepth)
ISO18116:2005 表面化学分析表面分析样品的制备和固定方法指南(SurfaceChemicalAnalysis—GuidelinesforPreparationandMountingofSpecimensforAnalysis)
ISO18118:2002(E) 表面化学分析 AES和XPS均匀材料定量分析所用的实验相对灵敏度因子使用指南(SurfaceChemicalAnalysis—AESandXPS—GuidetouseofExperimentalRelativeSensitivityFactorsfortheQuantitativeAnalysisofHomogeneousMaterials)
ISO/TR18394:2006 表面化学分析俄歇电子能谱化学信息来源(SurfaceChemical
Analysis—AugerElectronSpectrometers—DerivationofChemicalInformation)
ISO/TR19319:2003 表面化学分析俄歇电子能谱和X 射线光电子谱分析者对于横向分辨率、分析范围和样品观察范围的测定(SurfaceChemicalAnalysis—AugerEletronSpectroscopyandXrayPhotoelectronSpectroscopy—
DeterminationofLateralResolution,Analysis Area,andSample
AreaViewedbytheAnalyser)
ASTM E1078—2002 表面分析中制样和装样的标准指南(StandsardGuideforSpecimenPreparationandMountinginSurfaceAnalysis)
ASTM E1829—2002 表面分析前样品处理标准指南(StandsardGuideforHandlingSpecimens
PriortoSurfaceAnalysis)

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