GB/T 21287-2021 电子特气 三氟化氮

本文件规定了电子级三氟化氮的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输贮存及安全信息的要求。 本文件适用于以无水氟化氢与液氨为原料制备提纯，或以氟化氢铵为原料制备提纯得到的三氟化氮。

英文名称：  Electronic specialty gas—Nitrogen trifluoride 替代情况：  替代GB/T 21287-2007 中标分类：  化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体  ICS分类：  化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体 发布部门：  国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发布日期：  2021-10-11 实施日期：  2022-05-01 提出单位：  全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) 归口单位：  全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) 起草单位：  昊华气体有限公司、中船重工(邯郸)派瑞特种气体有限公司、西南化工研究设计院有限公司、广东华特气体股份有限公司、天津绿菱气体有限公司、福建久策气体股份有限公司、海宁市英德赛电子有限公司、江西华特电子化学品有限公司、浙江省化工研究院有限公司等 起草人：  王娟、付梦月、王少波、孟祥军、傅铸红、陈艳珊、马建修、何经余、曹素英、宋富财、苏子杰、丁高松、裴友宏、韦杰广、史婉君、张建君、王新喜、孙猛、鬲春利、张琦炎、吕博文、陈洁、吴靓、方华、依俊廷、何波、杨康、黄辉、宫兵、王大为、易达文、李阳、梁永强、梁成科等 页数：  16页 出版社：  中国标准出版社 出版日期：  2021-10-01

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