YS/T 987-2021 氯硅烷中碳含量的测定 气相色谱质谱联用法

本文件规定了气相色谱质谱联用法测定氯硅烷中碳杂质含量的方法。 本文件适用于氯硅烷中碳杂质（包括氯硅烷中的甲基二氯硅烷、甲基三氯硅烷、二甲基一氯硅烷、二甲基二氯硅烷、三甲基一氯硅烷，统称甲基氯硅烷）含量的测定，测定范围 （质量分数）为 0.000 010%～0.10%。

替代情况：  替代YS/T 987-2014 发布部门：  中华人民共和国工业和信息化部 发布日期：  2021-12-02 实施日期：  2022-04-01 出版社：  冶金工业出版社

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