标准编号：YS/T 987-2014 ，标准状态：即将实施。YS/T 987-2014 氯硅烷中碳杂质的测定方法——基二氯氢硅的测定 有色金属行业标准(YS)详细内容。 本标准第1部分规定了三氯氢硅中甲基二氯氢硅的测定方法，适用于三氯氢硅中甲基二氯氢硅的测定，检测范围为0.00001%～1.00%。
本标准第2部分规定了四氯化硅中甲基二氯氢硅的测定方法。
本标准适用于四氯化硅中甲基二氯氢硅的测定，检测范围为0.00001%～1.00%。
| 标准状态： | 即将实施 |
| 发布部门： | 中华人民共和国工业和信息化部 |
| 发布日期： | 2014-10-14 |
| 实施日期： | 2015-04-01 |
| 出版社： | 中国标准出版社 |
| 出版日期： | 2015-04-01 |
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