标准编号:YS/T 954-2014 ,标准状态:即将实施。YS/T 954-2014 金砷蒸发料 有色金属行业标准(YS)详细内容。 本标准规定了金砷蒸发料的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明书与合同(或订货单)等内容。
本标准主要适用于半导体芯片制造背金时用的金砷蒸发料。
标准状态: | 即将实施 |
发布部门: | 中华人民共和国工业和信息化部 |
发布日期: | 2014-10-14 |
实施日期: | 2015-04-01 |
出版社: | 中国标准出版社 |
出版日期: | 2015-04-01 |
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