标准编号：YS/T 985-2014 ，标准状态：即将实施。YS/T 985-2014 硅抛光回收片 有色金属行业标准(YS)详细内容。 本标准规定了硅抛光回收片的要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输、储存、质量证明书和订货单（或合同）内容。
本标准适用于用户提供的或来源于第三方的硅回收片（主要包括100mm、125mm、150mm和200mm单面或双面抛光硅片、未抛光硅片或外延硅片）经单面抛光制备的硅抛光片。产品主要用于机械、炉处理、颗粒和光刻中的监控片。另外，使用方需注意硅回收片的
| 标准状态： | 即将实施 |
| 采标情况： | SEMI M38-0307，MOD |
| 发布部门： | 中华人民共和国工业和信息化部 |
| 发布日期： | 2014-10-14 |
| 实施日期： | 2015-04-01 |
| 出版社： | 中国标准出版社 |
| 出版日期： | 2015-04-01 |
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