标准编号：YS/T 983-2014 ，标准状态：即将实施。YS/T 983-2014 多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的测定方法 有色金属行业标准(YS)详细内容。 本标准规定了多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的分析方法。
本标准适用于改良西门子法工艺还原炉和氢化炉尾气成分（氢气、氯化氢、三氯氢硅、二氯二氢硅和四氯化硅）的测定。本标准的检测范围为体积分数0.1%～100%。
| 标准状态： | 即将实施 |
| 发布部门： | 中华人民共和国工业和信息化部 |
| 发布日期： | 2014-10-14 |
| 实施日期： | 2015-04-01 |
| 出版社： | 中国标准出版社 |
| 出版日期： | 2015-04-01 |
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